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線上交談會仍在繼續(xù)。
這次輪到了清大副校長,科學院院士黎朔教授。
“終于到我了,我只問江南同學一個有關(guān)光源的小問題。”
黎朔教授緩緩開口,問了一個與他本專業(yè)有關(guān)的問題。
“眾所周知,極紫外光刻需要功率極高、穩(wěn)定性極佳的13.5納米波長的等離子體光源。現(xiàn)在國際主流是采用高功率二氧化碳激光轟擊錫滴靶材產(chǎn)生等離子體,但其中涉及到了復(fù)雜的激光靶材相互作用、等離子體調(diào)控和碎片管理難題,轉(zhuǎn)化效率和穩(wěn)定性是公認的世界級瓶頸。”
涉及專業(yè)問題,黎朔教授語氣嚴肅。
“既然光刻機從頭到尾是西北研究所獨立研發(fā),那大家是如何解決這個關(guān)鍵問題的?以及我很好奇,在提升光源功率和延長光鏡壽命方面,你個人認為團隊最大的創(chuàng)新點是什么?”
雖然觀眾并不明白這些專業(yè)名詞指代得到底是什么問題。但從黎朔教授嚴肅的語氣就能感受到這個問題的分量和嚴重性。
而江南,這次他回答得更快更從容。
“傳統(tǒng)錫滴靶材路線面臨效率、穩(wěn)定性和污染三大挑戰(zhàn)。我們最初也嘗試過深入優(yōu)化這一路徑,但發(fā)現(xiàn)受限于基礎(chǔ)物理機制和材料特性,短時間內(nèi)難以取得突破性進展,而且很容易陷入專利糾紛。”
“因此,就像之前在直播中所說,我們選擇了一條更具挑戰(zhàn)性,但也更徹底的路徑。那就是雙脈沖協(xié)同激發(fā)磁約束等離子體光源。”
“簡單來說就是放棄了單一的錫滴靶材,轉(zhuǎn)而采用特殊合金薄膜作為靶材。首先用一束超短超強激光脈沖轟擊靶材,將其氣化成特定狀態(tài)的前體等離子體團。緊接著在最佳時機,第二束主激光脈沖精確作用于這個前體等離子體團,進行二次激發(fā)和約束。”
“至于收集鏡壽命,除了在收集鏡表面使用我們自主研發(fā)的、耐等離子體轟擊和自修復(fù)能力更強的多層膜材料外,更重要的是我們通過精密反饋系統(tǒng)實時監(jiān)測等離子體狀態(tài),能夠確保產(chǎn)生的等離子體‘更干凈’,從源頭上減少對收集鏡的損傷。目前,我們光源的功率穩(wěn)定在350瓦以上,收集鏡的維護周期遠超傳統(tǒng)路線。”
一串串精準的參數(shù),一個個聞所未聞卻又邏輯嚴謹?shù)募夹g(shù)名詞從江南口中源源不斷吐出。他好像根本不需要思考,又或者這些東西就像血液一樣早就根植于江南的身體中。
旁邊的直播彈幕中全是“大神我聽不懂”、“太專業(yè)了有沒有大佬翻譯”、“媽媽這不是我該來的地方”等等感嘆哀嚎。
而華國之前發(fā)言過得兩位教授,以及現(xiàn)場的諸多實驗室同仁,有的明顯心潮澎湃呼吸粗重,有的則陷入沉思甚至現(xiàn)場就開始拿筆記記錄,顯然受到了極大啟發(fā)——
而交談會上,黎朔教授聽完后沉思了幾秒,話筒中傳來嘆服至極得鼓掌聲。
“你啊……你遠遠比我想象得更加優(yōu)秀,這完全是超越時代的科研成就。我算是明白了,光刻機在華國面世其實是必然!”
隨后,黎朔話鋒一轉(zhuǎn),如親切得長輩般笑著開口。
“聊了這么久,技術(shù)層面的問題我看今天就先到這里吧……你是看不見,我旁邊的兩位教授已經(jīng)在奮筆疾書了,恐怕再問下去,他們立刻就得坐不住直奔光刻機實驗室把你綁過來……”
這幽默夸張的話引得華國代表團一陣輕笑,西北實驗室現(xiàn)場也一陣善意的笑聲。
至于直播彈幕,上面已經(jīng)滿屏“哈哈哈”表情包了。
“黎教授好可愛哈哈哈哈哈,居然還會開玩笑的嗎。”
“奮筆疾書?原來不止我們這些學生聽不懂需要錄屏錄音,頂尖大牛們也要現(xiàn)場記錄啊,突然覺得我離他們也很近嘛。”
“前面的別想了,你那是幻覺。你記錄是壓根聽不懂,人家教授是啟發(fā)出了新想法,這可不一樣哈。”
“沒所謂,就剛才那一刻,我宣布我跟兩位清大教授共情了:死手快記啊,趕緊把江南透露的精華全記下來!”
“原來這就是清大教授們啊,居然這么可愛,他們看江南不就是長老看待宗門天驕嗎,”
“沒那么冷漠,江南比這個程度還珍貴。”
“非得說的話,我覺得像老祖重生哈哈哈哈……”
“那可是江南啊,是以一己之力扛起華國半導(dǎo)體行業(yè)的狠人,倆教授這么喜歡他是必然的,要我我也喜歡!”
直播鏡頭中,黎朔副校長自然得提及另一個問題,語氣親切得像是聊家常。
“趁這個機會,我忽然想問一個不那么專業(yè)但想必大家都很感興趣的問題。”
“我們都知道每一個超出時代的研究或者發(fā)明,突破瓶頸時其實都需要天才的靈光一閃和大眾難以想象的艱苦耕耘。我私下也向西北研究所的幾個老朋友了解了。他們告訴我光刻機后期超過百分之五十的關(guān)鍵進展和難題破解,核心思路幾乎全部由你提供——所以江南同學,你那些石破天驚得想法到底怎么來的,你能跟大家分享的經(jīng)驗是什么呢?”